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和國產(chǎn)的眾多模具鋼相比，進(jìn)口的在性能特點(diǎn)等方面，具有的優(yōu)勢(shì)比較多，在一些場合使用，能讓效果更為理想?！菊浚耗＞咝颓槐砻娲植诙炔粌H影響成型器件美觀,且對(duì)產(chǎn)品性能有很大影響。隨著高端塑料模具鋼對(duì)表面質(zhì)量要求越來越嚴(yán)苛,當(dāng)前拋光技術(shù)局限性越來越大已難以滿足其要求。探索一種新拋光技術(shù)使高端塑料模具鋼在獲得超光滑表面的同時(shí)獲得全局平坦化很迫切并具有重大現(xiàn)實(shí)意義?；瘜W(xué)機(jī)械拋光(CMP)作為當(dāng)前能獲得全局平坦化技術(shù),在超大規(guī)模集成電路中廣泛應(yīng)用且拋光材料能獲得理想拋光性能。本文以應(yīng)用更廣泛的高端塑料模具鋼S136鋼為例,來探討采用CMP技術(shù)使其獲得優(yōu)良拋光性能的工藝參數(shù)組合并分析其材料去除機(jī)制和化學(xué)拋光機(jī)理。本文采用X射線衍射,掃描電子顯微鏡,原子力顯微鏡等檢測手段來表征拋‘光性能,以均方根粗糙度(RMS)和材料去除速率(MRR)評(píng)價(jià)拋光性能。文中研究了影響CMP性能更重要的參數(shù),包括拋光液酸堿性、下壓力、拋光機(jī)轉(zhuǎn)速、磨料粒子種類。首先以單因素變量法來確定上述參數(shù)的大致分布水平。結(jié)果表明,壓力與轉(zhuǎn)速對(duì)S136鋼拋光性能的影響呈現(xiàn)相似規(guī)律湛江s136制模用品廠家,隨著壓力轉(zhuǎn)速的增大,MRR均增大湛江s136制模用品廠家,在參數(shù)值較小范圍內(nèi),MRR對(duì)壓力和轉(zhuǎn)速的關(guān)系都可用改進(jìn)的Preston方程來表達(dá)且由此方程預(yù)測的數(shù)值與實(shí)驗(yàn)測定值的誤差在2%以內(nèi),當(dāng)壓力轉(zhuǎn)速值進(jìn)一步增大時(shí),Preston方程失效；拋光液酸堿性對(duì)拋光性能有巨大影響,在酸性拋光液體系中,S136鋼能獲得更好的拋光性能；針對(duì)不同的磨料種類,更大的MRR和更小的RMS不能在同一個(gè)磨料中獲得,經(jīng)過綜合考慮,選取Si02作為更佳磨粒。確定了各參數(shù)的大致分布水平后,采用正交實(shí)驗(yàn)法提出更佳拋光工藝參數(shù),并進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。分別以MRR和RMS為評(píng)價(jià)指標(biāo),通過XRD分析、SEM分析、AFM分析進(jìn)行結(jié)果驗(yàn)證。結(jié)果表明,原始S136鋼RMS值為68.31nm,經(jīng)更佳工藝參數(shù)拋光后,其RMS值為2.87nm.MRR值為173.26nm/min,與其他參數(shù)組合相比較,更佳工藝參數(shù)在獲得更小表面粗糙度同時(shí)獲得了更大的材料去除速率,這證實(shí)了以上正交實(shí)驗(yàn)結(jié)果所得出數(shù)據(jù)的有效性和可靠性。由指標(biāo)關(guān)系圖分析了各因素對(duì)拋光性能的影響程度大小。更后,本文詳細(xì)探討S136鋼CMP過程材料的去除機(jī)制和化學(xué)拋光機(jī)理,并對(duì)拋光缺陷的形成原因進(jìn)行分析。對(duì)于S136鋼的CMP過程,更為關(guān)鍵和核心的是使化學(xué)作用和機(jī)械作用之間取得平衡,所有參數(shù)變化和組合的本質(zhì)是影響機(jī)械作用和化學(xué)作用的匹配平衡程度。蘇州市東锜模具鋼材有限公司是一家有十多年的經(jīng)營歷史，專注銷售進(jìn)口、國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)模具鋼材的公司，公司擁有40多臺(tái)大小型鋸床，二十多臺(tái)銑磨機(jī)和CNC加工設(shè)備，并配有檢測專業(yè)人才，真正做到從下料，加工，送貨等“一站式”服務(wù)，節(jié)省了客戶的寶貴工作時(shí)間，大大提高了生產(chǎn)效率，深受廣大客戶的好評(píng)！
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